Employment of focused MeV ion microbeams for the fabrication of buried graphitic channels in diamond

OLIVERO, Paolo;LO GIUDICE, Alessandro;MANFREDOTTI, Claudio;PICOLLO, FEDERICO;VITTONE, Ettore
2009-01-01

2008
118
119
http://www.lnl.infn.it/~annrep/read_ar/2008/contributions/pdf_singles/118.pdf
Diamond, Ion beam lithography, Graphite
P. Olivero; G. Amato; F. Bellotti; A. Lo Giudice; C. Manfredotti; F. Picollo; E. Vittone
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