Electric force microscopy characterization of buried graphitic channels microfabricated by MeV ion beam implantation

BERNARDI, ETTORE;BATTIATO, ALFIO;OLIVERO, Paolo;PICOLLO, FEDERICO;VITTONE, Ettore
2013-01-01

LNL Annual Reports 2012
INFN Laboratori Nazionali di Legnaro
2012
100
101
http://www.lnl.infn.it/~annrep/read_ar/2012/contributions/pdfs/100_D_89_D063.pdf
Single-crystal diamond, Ion beam lithography, Scanning probe microscopy
E. Bernardi; A. Battiato; L. La Torre; P. Olivero; F. Picollo; V. Rigato; E. Vittone
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