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Engineering the Growth of MoS2 via Atomic Layer Deposition of Molybdenum Oxide Film Precursor

Fanciulli, Marco;
2016-01-01
2016
2
10
1600330-1
1600330-5
atomic layer deposition; dewetting; molybdenum disulphide; transition metal dichalcogenides
Martella, Christian; Melloni, Pierpaolo; Cinquanta, Eugenio; Cianci, Elena; Alia, Mario; Longo, Massimo; Lamperti, Alessio; Vangelista, Silvia; Fanciu...espandi
03A-Articolo su Rivista
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Adv Elect Materials - 2016 - Martella - Engineering the Growth of MoS2 via Atomic Layer Deposition of Molybdenum Oxide Film.pdf

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