Complete optical characterization of imperfect hydrogenated amorphous silicon layers by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

VITTONE, Ettore
1999-01-01

1999
343/344
293
-
D. FRANTA; I. OHLIDAL; D. MUNZAR; J. HORA; K. NAVRATIL; C. MANFREDOTTI; F. FIZZOTTI; E. VITTONE
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