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Amorphous Germanium Carbides obtained by Radiolysis - CVD of Germane/Allene Systems: analysis of the residual gas phase

BOTTIZZO, Elena;BENZI, Paola;DEMARIA, Chiara
2006-01-01
2006
Giornate Italo-Francesi di Chimica 2006
Torino
22-24 maggio 2006
iornate Italo-Francesi di Chimica 2006
SCI SFC
23
23
Amorphous Germanium Carbides; Radiolysis; Chemical vapor deposition; Gas Phase Reactions
E. Bottizzo; P. Benzi; C. Demaria
04A-Conference paper in volume
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