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Structure and morphology of c- SiC:H films produced by PECVD

BATTEZZATI, Livio;
1993-01-01
1993
Mat. Res. Soc. Fall Meeting
Boston
dicembre 1992
Mat. Res. Soc. Symp. Proc.
MRS
283
543
546
F. Demichelis; G. Crovini; C. F. Pirri; E. Tresso; L. Battezzati; P. Rava
04A-Conference paper in volume
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